半導(dǎo)體潔凈車間差壓控制原理

潔凈車間壓差控制的基本原理是控制送風(fēng)量、回風(fēng)量和排風(fēng)量。

半導(dǎo)體潔凈車間差壓控制原理.jpg

當(dāng)送入無塵室內(nèi)的空氣量適當(dāng)?shù)拇笥诨仫L(fēng)和排風(fēng)量時(shí),室內(nèi)則可維持一定的正壓值。此時(shí),在潔凈車間內(nèi)外靜壓差的作用下,通過圍護(hù)結(jié)構(gòu)不嚴(yán)密處向外滲漏的風(fēng)量與機(jī)械進(jìn)出風(fēng)量的差額相等。

潔凈車間壓差維持的難題在于機(jī)械送風(fēng)量與出風(fēng)量是動(dòng)態(tài)變化的。對于潔凈空調(diào)系統(tǒng)來說,過濾器積塵會造成新風(fēng)、送風(fēng)管路阻力增加,從而影響風(fēng)量;排風(fēng)設(shè)備的時(shí)開時(shí)停也會導(dǎo)致排風(fēng)量的變化;此外,與樓道、室外相鄰還會因熱壓、風(fēng)壓的變化影響房間的壓差。

因此潔凈車間的壓差值需要經(jīng)常進(jìn)行檢查,并依次對新、送、回、排風(fēng)通路的閥門作出相應(yīng)的調(diào)整。而博益公司的差壓計(jì)壓力傳感器可以很好的監(jiān)控潔凈車間的風(fēng)量動(dòng)態(tài)變化,差壓計(jì)和壓力傳感器具有響應(yīng)速度快、精度高、耐腐蝕、使用壽命高等特點(diǎn)。

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